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在硅上集成的铁电薄膜材料及其储能和换能应用

发布时间:2023-11-14    作者:        来源:       浏览次数:     打印


报 告 人:欧阳俊 教授,齐鲁工业大学

报告时间:2023年11月16日 周四15:30-17:00

地点:三一大楼506

报告摘要:

铁电材料具有非易失存储性、高介电性、强压电性、热释电和电卡性能以及非线性光学性能,是非常重要的一类多功能材料,为电子、机电、光电等功能器件及其系统的微型化和集成化创造了条件。目前在硅基工业微器件中,尤其是在微电子和微机电系统中使用的铁电薄膜,由于热处理温度的限制(<500℃),多为随机多晶结构,其剩余极化Pr小、电学性能差,阻碍了相关元器件朝着小型化、高性能方向的进一步发展。而在高温下制备的高品质外延或高度取向薄膜又不满足集成温度的要求。本人在齐鲁工大和山东大学的课题组通过缓冲层技术结合与半导体工艺高度兼容的中低温磁控溅射方法,在200-500℃的温度范围内制备了一系列高取向、高性能钙钛矿铁电氧化物薄膜,这些材料的基本特性填补了国内外相关材料制备温度和/或相应功能特性的空白。特别值得一提的是,本课题组制备的钛酸钡基薄膜电容器(铁电、超顺电)、铁酸铋和PZT薄膜压电悬臂梁等储能和换能原型器件,材料各项指标优异,展现了从材料到器件应用的高度可行性。

报告人简介:

报告人欧阳俊,齐鲁工业大学化工学院教授,“新能源材料化学与功能器件”科研团队负责人,2013年11月入选教育部新世纪优秀人才,2021年入选湖南省“芙蓉学者”讲座教授。2005年在美国马里兰大学获得材料科学与工程博士学位(铁电压电材料方向,师从美国工程院院士R. Ramesh教授和铁性畴理论专家A. Royburd教授)。2005.06–2010. 04期间在美国希捷科技任职,先后担任电子设计高级工程师和电子材料研发主管工程师。2010.04-2019.12期间在山东大学材料学院任教授和博士生导师。主要研究方向包括:(1)高能量密度、高功率密度储能材料技术及其应用; (2)换能和能量采集技术领域的铁电压电陶瓷材料,及其厚薄膜、低维结构和原型器件的设计、制备、表征和应用;(3)与半导体技术和柔性电子兼容的中低温薄膜材料制备和集成技术,包括多种室温镀膜技术;(4)光电、光热、防护和耐磨涂层的PVD制备,陶瓷-金属结合技术(“陶瓷金属化”);(5)多场调控功能氧化物材料的催化、光(电)催化和光电化学作用机理及应用。目前担任中国硅酸盐学会特种陶瓷分会理事和山东硅酸盐学会电子陶瓷专家委员会常务委员,Journal of Advanced Ceramics期刊编委。在Nature Communications, Advanced Energy Materials, Energy Storage Materials, Advanced Functional Materials, npj Compu- tational Materials,Acta Materialia, ACS Applied Materials & Interfaces等国际期刊上发表SCI论文120余篇,在国际会议上做大会和分会邀请报告20余次,并多次组织国际会议或担任国际会议分会主席。主编英文学术专著一本“Nanostructures in Ferroelectric Films for Energy Applications”(2019. 06, Elsevier),获专利授权12项含国际专利1项,获中国硅酸盐学会2018年度特种陶瓷学术奖、电子元器件关键材料与技术专委会青年才俊奖(2021)和优秀论文奖(2022)、中国硅酸盐学会第6届优秀博士论文提名奖(导师)等多个奖励。



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